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PVD镀膜工艺有哪些常见的问题

时间:2022-06-22    点击数:
PVD镀膜常见质量问题如下:
 
一、PVD镀膜薄膜出现孔洞原因:
 
1.蒸发舟内铝料太满。解决方法:降低送铝速度;提高蒸发舟电流。
 
2.真空室内蒸发舟之间出现短路。解决方法:排除短路。
 
3.真空室内杂质飞溅

 
二、PVD镀膜薄膜出现拉伸现象原因:
 
1.基材张力太大。解决方法:调节放卷、卷取张力控制系统,适当减少张力。
 
2.冷却系统工作失常。解决方法:检查冷却系统,并排除故障。
 
三、PVD镀膜薄膜表面出现褐色条纹原因:
 
 
1.真空度低解决方法:清洁真空室内的送铝、蒸镀装置、冷却系统、放卷、卷取装置及导辊;检查抽真空系统;降低环境湿度。
 
2.薄膜释放气体。解决方法:薄膜预干燥;延长抽真空时间。
 
3.喷铝过多。解决方法:提高车速;降低蒸发舟电流;降低送铝速度。
 
4.蒸发舟内有杂质。解决方法:清洁蒸发舟及热屏蔽板。
 
5.蒸发舟老化。解决方法:更换蒸发舟。

本文网址:http://gurbetci.org/news/569.html

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